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トップページ製品一覧>蒸着・フィルム厚さ計

蒸着膜厚さ計・コントローラ
特長 真空蒸着機の中、オンライン非接触で蒸着膜の厚さを測定できます。
また、製品検査にも使われています。

● センサのケーブルは50mまで延長できます。
● 衝撃振動に強い長寿命センサ(半永久的)
● 真空中での実績が豊富です。
主な仕様 原  理 渦電流式
測定可能範囲 0.06〜50Ω/□ ※
測定距離 1〜3mm
総合精度 ±1%以内 
センサ〜指示計間距離 50mまで可(但し環境に寄ります。)
表  示 デジタル表示(Ω/□又はnm)
電  源 AC95〜115V

※1機種で全範囲は測定できません。詳しくはお問い合わせください。

【2016/11/15 更新】

走行式用透過率計(厚さ計)
特長 ★ シンプル、安価なのに高精度です。
★ LED光の採用でコンパクト・長寿命。
★ レンズ汚れの影響を無視できます。
★ メンテナンスや校正が至極簡単です。
★ 自動校正付きです。
主な仕様 ◆ 光源 : LED(紫外、可視光)
◆ 測定範囲 : 透過率 0.00〜100.00%、厚さ表示も可能
◆ 精度 : 透過率で±0.05%
       環境によりこれより悪い場合もあります。
◆ 投光器・受光器間の距離 : 20mm
◆ アナログ出力 : DC0〜10V
◆ 自動校正機能付きもあります。


◆ 計器(検出器とアンプ部筐体)のみの販売も可能です。
  この場合、走行機構のノウハウを無償で提供致します。
【2014/11/27 更新】

蒸着膜透過率計
特長 ★オンライン対応で検出部は耐熱90℃です。
★検出部はエッジコントローラのセンサとして20年の実績があります。

非金属の蒸着膜のオンライン管理にも最適
蒸着膜透過率計

★紫外光(中心波長350nm)もあります。
★レンズ汚れの影響を無視できます。 (真空中や悪環境でも実績が豊富です)
★メンテナンスや校正が極めて簡単です。
★総合精度:透過率で±0.1%未満 分解能は0.01%

◆厚さ変換も可能です。(オプション)
◆多連式の実績もあります。
主な仕様 ●光 源 : LED(可視光、紫外、赤外)・ハロゲンランプ等
●精 度 : 透過率±0.05%
●表 示 : デジタル5桁
       多連式の場合は、タッチパネルによるバーグラフ表示
●投・受光器のサイズ:16×28×40(mm)
●電 源 : AC90〜110V

精度・性能向上の為、予告なしに仕様変更することがあります。
【2015/09/17 更新】

ハロゲン光透過率計(厚さ計)
特長 ◆光ファイバー(往路のみ)を使って真空中で10万分の1の透過率(厚さ)のオンラ イン計測が可能です

◆写真はハロゲン光源、ライトガイド(12本)、真空フランジ(2本用)、投・受光器、 1チャンネル用アンプ・指示部(実際は上の写真のようなバーグラフ表示)です

◆キセノン光、メタルハライド光透過率計もあります
主な仕様
【2010/09/09 更新】

4電極式蒸着膜抵抗計 (標準型)
特長 ★大手蒸着メーカが採用している可変定電流方式で高精度です。
★平行電極なので正確です。…今流通している点接触電極では全て低く出ています。
主な仕様 ☆ オプションにて1000Ω/□まで測定可能です ※
☆ 極小電極、ツイン型抵抗計もあります

※フィルムや、蒸着の状態によっては、測定できないこともあります。詳しくはご相談ください。
【2014/11/14 更新】

4電極式蒸着膜抵抗計 (極小電極専用)
特長 ★最少4mm□の蒸着膜の検査が出来ます 。
★パターン蒸着に最適です。
主な仕様 ☆ 電流電極同士間の外側の距離は、4mmまで製作可能です。
☆ VA(Value Analysis)による性能向上の為、仕様はその都度変更いたします。
【2010/09/09 更新】

ツイン型抵抗計(特種仕様)と一般電極
特長 ☆ パネル下部が極小電極に対応、上部が一般電極に対応します。
主な仕様
【2010/09/09 更新】

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