サイジングの真空度の僅かな増減を検知して、引取速度を高精度に増減します。

【真空度設定範囲(例)】
0(大気圧)~100kPa
【偏位計最小目盛】
500Pa(右側が真空)
【警報】
-10kPaで作動 警報時速度をロック
【制御出力の極性】
マイナスに振れると増速