特長
真空蒸着機の中、オンライン非接触で蒸着膜の厚さを測定できます。
また、製品検査にも使われています。
・センサのケーブルは５０ｍまで延長できます。
・衝撃振動に強い長寿命センサ（半永久的）
・真空中での実績が豊富です。
主な仕様
【原理】
渦電流式
【測定可能範囲
0.01～50Ω/□ ※
【測定距離】
1～3mm
【総合精度】
±1％以内
【センサ～指示計間距離】
50mまで可（但し環境に寄ります。）
【表示】
デジタル表示（Ω/□又はnm）
【電源】
AC95～115V
※1機種で全範囲は測定できません。詳しくはお問い合わせください。
下図は両面蒸着の場合のイメージイラストです。
両面蒸着後は両面の合成抵抗値になります。
