高感度薄型エッジコントローラ（EPC-US）

主な仕様

・センサ厚さ8mmの薄型タイプなので、狭いエアギャップでも使用できます。
・基本性能は高感度タイプ同様です。
　耐熱：120℃
　±0.1mm以内に制御可能　
　エッジの分解能　5μm